钛溅射靶材在随着使用率的增加，表面可能会附着有残留物，如粉尘、油污、氧化物等，继而靶材表面有不同程度的结瘤，产品质量也会有所下降，导致生产成本增加。因此，需要溅射靶材进行充分的清洁，保证靶材的清洁度。今天中扬金属就和大家介绍下溅射钛靶材的清洁方法及养护。

一、钛溅射靶材的清洁方法

清洁溅射靶材的目的是去除靶材表面可能存在的杂质灰尘或污垢。可以通过以下方法达到清洁目的。注意清洁靶材时请配带干净而且不会起绒的保护手套，避免用手直接接触靶材。

1、吸尘器清洁

（1）清除大颗粒物，采用吸尘器将溅射成膜过程中沉落到靶材溅射面的大颗粒物吸除干净。

（2）砂纸打磨，采用相应目数的砂纸对靶材的溅射面进行打磨，打磨方向顺应靶材溅射面形成有的跑道的方向，同时将位于跑道中间表面泛黄的氧化层打磨干净，去除溅射面的氧化物和杂质。

（3）清洁除尘，采用吸尘器将靶材的溅射面上由于砂纸打磨而产生的颗粒物和灰尘吸除干净。

（4）擦拭清洁：采用无尘布蘸取少量酒精对靶材的溅射面进行擦拭清洁，除去没有完全吸除的灰尘，直至无尘布表面只有轻微变色。

2、其他清洁法

（1）用在丙酮中浸泡过的无绒软布清洁；

（2）用酒精清洁；

（3）用去离子水清洗。在用去离子水清洗过后再将靶材放置在烘箱中以100摄氏度烘干30分钟。氧化物及陶瓷靶材的清洗建议用“无绒布”进行清洁；

（4）用高压低水气的氩气冲洗靶材，以除去所有可能在溅射系统中会造成起弧的杂质微粒。以上是溅射靶材清洁方法的介绍，接下来我们再来讲解下溅射靶材的养护。

二、钛溅射靶材的养护

1、密封性检查

钛靶材完成安装后需要对整个阴极进行短路检查及密封性检查，建议通过使用电阻仪摇表的方式对阴极是否存在短路进行判断。在确定阴极不存在短路后，可以进行检漏检查，将水通入阴极确定是否存在漏水现象。

2、溅射靶材保养

对使用完成的溅射靶材进行保养，为避免在再次溅射过程中因为不洁净的腔体导致短路和起弧，有必要阶段性的除去溅射轨道中间及两侧堆积的溅射物，这也有助于用户可以连续以大功率密度进行溅射。

3、溅射靶材储存

溅射靶材不用时，无论是金属或陶瓷类的靶材，建议用户将靶材保存在真空密封塑料袋中，并附有防潮剂。尤其是贴合靶材更需要保存在真空条件下，以避免贴合层氧化影响贴合质量。靶材外包装一般为木箱，四周有防撞层，以保护靶材和背靶避免在运输和储存过程中发生损坏。

溅射靶材的清洁方法及养护不可忽视，因为靶材的清洁度对于溅射镀膜过程中形成的镀膜质量，以及产品质量合格与否有着至关重要的作用，清除哪些在把才上的残留物，可减少靶材表面结瘤，也能提高靶材利用率和生产效率，而且靶材清洁也与后期的养护密不可分，宝鸡市中扬金属材料有限公司专注从事高纯溅射靶材系列产品的研发、生产和销售，引进先进靶材质量控制体系，靶材组织结构均匀细小、性能稳定一致、溅射成膜性能优异，并且提供定期维护意见和建议，如果您对我们的产品感兴趣，欢迎致电中扬金属。

相关链接